用途:該設(shè)備用于帶框生瓷片沖腔工藝,具有自動上下料、自動定位,自動沖切等功能,滿足LTCC、HTCC中沖切工藝需求。
TIME: 2024-12-12隨著半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展,砷化鎵、磷化銦等二代半導(dǎo)體化合物材料、氮化鎵、碳化硅等三代寬禁帶半導(dǎo)體材料,對于濕化學(xué)清洗工藝提出了新要求。在配置傳統(tǒng)獨(dú)立濕處理工藝槽(SPM、APM、HPM、DHF、IPA Dry)的基礎(chǔ)上,新材料清洗設(shè)備按照客戶工藝菜單進(jìn)行優(yōu)化設(shè)置,配液精度、配液種類、清洗方式方面進(jìn)行設(shè)計(jì)提升,同時(shí)保持與行業(yè)廠商、學(xué)校研究院所的積極聯(lián)合探索和設(shè)備定制。
TIME: 2024-10-11有不同的獨(dú)立濕處理工藝槽、按照客戶工藝菜單的設(shè)置,機(jī)械手在各工藝槽中進(jìn)行相應(yīng)的工藝處理。適合用于基片批量的腐蝕/去膠/顯影/清洗等工藝.
TIME: 2024-10-11自動供液系統(tǒng)可以通過VMB給多臺設(shè)備進(jìn)行供液。具有過濾、循環(huán)功能,根據(jù)用戶要求配備雙組或者多組過濾、循環(huán)系統(tǒng);當(dāng)其中一個(gè)桶內(nèi)的液體用完時(shí),能夠自動進(jìn)行雙桶切換并且提示用戶。同時(shí)還具備化學(xué)液的取樣檢測功能。
TIME: 2024-10-11該設(shè)備用于 LTCC、HTCC 和 MLCC 的加壓作業(yè),最 大壓力80MPa,最大直徑600,最小230
TIME: 2024-10-11全自動疊層機(jī)是用于生瓷片疊片的設(shè)備,具備自動上下料、自動切片、自動撕膜、自動對位、真空疊壓等功能,廣泛應(yīng)用于LTCC、HTCC、MLCC等領(lǐng)域。
TIME: 2024-10-12IPA 霧化干燥機(jī)是一種主要應(yīng)用于晶圓加工等領(lǐng)域的干燥設(shè)備,利用異丙醇(IPA)的特性來實(shí)現(xiàn)干燥功能,以下是具體介紹: 1.工作原理:采用加熱異丙醇形成氣霧,與惰性氣體一起對晶圓表面的水分子進(jìn)行吸附,再通過加熱使得異丙醇揮發(fā),從而實(shí)現(xiàn)對晶圓的清理干燥。在干燥時(shí),首先晶圓處于被夾持的靜止?fàn)顟B(tài),IPA 霧化劑噴射到晶圓的表面,由于 IPA 霧化劑具有較強(qiáng)的高分子作用力,IPA 霧化劑能進(jìn)入到晶圓表面的微孔中,將其中的水分帶出,進(jìn)而達(dá)到干燥的目的。
化學(xué)品通風(fēng)柜是實(shí)驗(yàn)室等場所中常用的安全設(shè)備,主要有以下用途: 1.控制有害氣體 保護(hù)人員安全:在進(jìn)行化學(xué)品實(shí)驗(yàn)或處理時(shí),往往會產(chǎn)生各種有害氣體、蒸汽或粉塵等。通風(fēng)柜通過強(qiáng)大的抽風(fēng)系統(tǒng),能及時(shí)將這些有害物質(zhì)從操作區(qū)域排出,防止其在實(shí)驗(yàn)室中擴(kuò)散,從而保護(hù)實(shí)驗(yàn)人員免受有害氣體的侵害,避免吸入有毒物質(zhì)而引發(fā)健康問題,如呼吸道疾病、中毒等。
自動晶棒清洗機(jī)是半導(dǎo)體、光伏等行業(yè)中用于清洗晶棒的重要設(shè)備,其特點(diǎn)主要包括以下幾個(gè)方面: 1.自動化程度高:可實(shí)現(xiàn)晶棒上料、清洗、下料等一系列操作的自動化運(yùn)行,無需人工過多干預(yù)。設(shè)備能夠按照預(yù)設(shè)的程序和參數(shù),正確控制清洗過程中的各個(gè)環(huán)節(jié),如清洗液的流量、清洗時(shí)間、旋轉(zhuǎn)速度等,大大提高了清洗效率,減少了人工操作帶來的誤差和不確定性。